[发明专利]一种宏微精密定位装置及控制方法在审
| 申请号： | 202310488897.6 | 申请日： | 2023-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN116734784A | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 张驰;金依雯;袁黎明;陈思鲁;任建泽;周杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00;G01V9/00 |
| 代理公司： | 宁波甬致专利代理有限公司 33228 | 代理人： | 杨挺 |
| 地址： | 315000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种宏微精密定位装置，包括：基座，设有线性导轨和线性宏驱动件；宏动平台，滑动连接于线性导轨，宏动平台上设有线性微驱动件和柔性平动机构；微动平台通过柔性平动机构滑动连接于宏动平台上，线性微驱动件作用于微动平台以控制微动平台的移动距离；相对位移传感器用于检测微动平台相对宏动平台的位移；线性宏驱动件作用于宏动平台，且线性宏驱动件根据相对位移传感器的反馈信号判断是否控制宏动平台响应微动平台的移动。上述方案结合了线性微驱动件的精密位移和线性宏驱动件行程大的特点，同时通过以微动平台带动宏动平台的控制策略减少线性宏驱动件的频繁启停问题，提高工作效率和作业精度。本公开还提供一种宏微精密定位装置的控制方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 定位 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所，未经中国科学院宁波材料技术与工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310488897.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
