[发明专利]基于NARX网络的单晶硅等径阶段数据驱动建模方法在审
| 申请号： | 202310478307.1 | 申请日： | 2023-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN116629101A | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 刘柏均;马文乐;弋英民 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | G06F30/27 | 分类号： | G06F30/27;G06F111/06 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 许志蛟 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于NARX网络的单晶硅等径阶段数据驱动建模方法，首先在直拉法制备单晶硅的过程中对晶体直径、加热器功率这两种数据进行数据采集，然后将采集到的晶体直径和加热器功率进行数据预处理；初始化NARX网络模型结构，设定模型阶数，输入输出数量，输入输出延时量及隐藏层神经元个数；利用麻雀优化算法对NARX网络模型的初始参数进行优化，得到满足单晶硅直径控制需求的单晶硅生长等径阶段晶体直径与加热器功率模型。本发明通过NARX神经网络建立了直拉法制备单晶硅等径阶段的晶体直径与加热器功率模型，解决了现有技术中存在的机理建模难度大，模型复杂导致控制算法计算量十分大，控制方案设计困难的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 narx 网络 单晶硅 阶段 数据 驱动 建模 方法 | ||
【主权项】：
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