[发明专利]小型流体循环系统及产生循环流体的方法在审
| 申请号： | 202310462821.6 | 申请日： | 2023-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN116321643A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 孙海轶;彭凯伦;邹家杰;王关德;彭宇杰;冷雨欣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H05G1/02 | 分类号： | H05G1/02;H05G1/08;H05G1/30;H05H1/24 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种小型流体循环系统及产生循环流体的方法，系统包括泵体、背压阀、压力传感器、压力表、过滤器、质量流量计、缓冲罐、截止阀、喷嘴、截止阀、具有开关的储液罐、具有开关的氮气瓶和具有开关的氩气瓶。流体在泵体的作用下做循环往复流动，液柱直径通过所述的喷嘴的直径调节，流量和速度通过所述的背压阀调节，质量流量计可实时显示管道中流体的实际流量。本发明具有安装方便、集成化程度高、射流的直径、速度和流量调节方便、操作简单的特点，适用于不同波段等离子体光的发射，及相关的科学研究或平台开发。 | ||
| 搜索关键词： | 小型 流体 循环系统 产生 循环 方法 | ||
【主权项】：
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