[发明专利]一种高性能Lamb波声学器件结构在审
| 申请号： | 202310455760.0 | 申请日： | 2023-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN116781031A | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 陈正林;杜雪松;李桦林;肖强;马晋毅;郑泽渔;潘虹芝;董加和;贺艺;梁柳洪 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | H03H9/13 | 分类号： | H03H9/13;H03H9/46 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人： | 项晓丹 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高性能Lamb波声学器件结构，包括电极指条层、压电薄膜层、功能薄膜层和支撑衬底层；所述电极指条层位于所述压电薄膜层表面上；所述压电薄膜层位于所述功能薄膜层表面上，所述压电薄膜层沿轴向方向的尺寸与所述功能薄膜层沿轴向方向的尺寸相适应，且所述压电薄膜层和所述功能薄膜层形成压电复合薄膜结构；所述功能薄膜层位于所述支撑衬底层上。本方案的Lamb波声学器件能够实现高频带、大带宽，从而更好的满足高速移动通讯的需求，且该结构使用的制备工艺容易实现，易于大规模推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 性能 lamb 声学 器件 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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