[发明专利]基于数字光栅的三维位移测量系统在审
| 申请号： | 202310429658.3 | 申请日： | 2023-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN116518852A | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 李世光;戢逸云;王寅;曾海峰 | 申请（专利权）人： | 李世光 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 吕永芳 |
| 地址： | 102209 北京市昌平区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于数字光栅的三维位移测量系统，属于半导体集成电路制造技术领域。所述三维位移测量系统包括：XY方向测量机构、Z方向测量机构和工控机。本发明利用了相机像素点均匀排列的性质，提出了一种数字光栅结构，这种数字光栅是将相机的等间距行或列模拟成透光区域和不透光区域，与光学一维或二维光栅在相机表面所成的像进行叠栅形成可用于测量的莫尔条纹图像，再分别寻找行、列中光强相等的周期作为对准点，以此计算出三维位移信息；本发明不仅具有光栅式测量系统的抗环境干扰优点，且成本更低，灵活度更高，整体使用简单高效，能实现高精度高速度的位移测量，对提高集成电路制造设备有着积极的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 数字 光栅 三维 位移 测量 系统 | ||
【主权项】：
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