[发明专利]陶瓷加热器在审
| 申请号： | 202310427773.7 | 申请日： | 2023-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN116321554A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 邱基华;陈烁烁 | 申请（专利权）人： | 广东省先进陶瓷材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/16 | 分类号： | H05B3/16;H05B3/06;H05B3/26 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 祝萍萍 |
| 地址： | 515646 广东省潮州市潮安区凤塘镇凤岗村新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种陶瓷加热器，属于半导体设备制造技术领域，所述的陶瓷加热器，包括：具有晶圆载置面的陶瓷板；主发热体，所述主发热体设于陶瓷板内部；辅助发热体，所述辅助发热体设于陶瓷板的侧面，且所述辅助发热体独立于所述主发热体；本申请在陶瓷板的侧面设置独立于主发热体的辅助发热体，可以有效降低陶瓷板承载面上中间区域与边缘区域的热量偏差，极大提高了晶圆整体受热均匀性，当对承载加热面上的晶圆进行加热时，如果陶瓷板边缘区域因热量耗散较大而导致晶圆接收到的热量在其边缘区域明显小于中间区域，辅助发热体工作产热，有效的抑制陶瓷板边缘区域的热量耗散，从而使晶圆整体受热均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 加热器 | ||
【主权项】：
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