[发明专利]一种光刻胶中光致产酸剂的鉴定方法在审
| 申请号： | 202310421822.6 | 申请日： | 2023-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN116678963A | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 牛玉芳;毛鸿超;王静 | 申请（专利权）人： | 厦门恒坤新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/06;G01N30/72;G01N30/86 |
| 代理公司： | 厦门荔信律和知识产权代理有限公司 35282 | 代理人： | 赖秀华 |
| 地址： | 361027 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明属于光刻胶领域，涉及一种光刻胶中光致产酸剂的鉴定方法，包括：将未固化的光刻胶依次进行加热处理、研磨、浸提、过滤，再将所得待测清液进行LC‑MS检测，得到LC‑MS总离子流色谱图；在正离子模式下，从LC‑MS总离子流色谱图中获取光致产酸剂中正离子的分子式；在负离子模式下，从LC‑MS总离子流色谱图中获取光致产酸剂中负离子的分子式；根据所获取的正负离子的分子式判断光刻胶中光致产酸剂的具体分子式。采用本发明提供的方法能够准确鉴定光刻胶中的光致产酸剂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶中光致产酸剂 鉴定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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