[发明专利]一种铜-玻璃等离子体电极结构在审
| 申请号： | 202310416719.2 | 申请日： | 2023-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN116347737A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 钱玉忠;吴亮亮;梁立振;陶鑫;许吉禅;胡纯栋 | 申请（专利权）人： | 合肥综合性国家科学中心能源研究院（安徽省能源实验室） |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明 |
| 地址： | 230000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种铜‑玻璃等离子体电极结构，设有电极板、等离子体腔室、密封圈、水冷线圈、玻璃、转接头。所述电极板为无氧铜材质，上端面铣出三个直径不一的同心沉槽，直径最小的沉槽一内同心装配玻璃，防止等离子体对电极板的溅射；直径稍大的沉槽二用于与等离子体腔室配合；直径最大的开口沉槽内焊接水冷线圈，为电极板提供热移除。水冷线圈两端焊接转接头，便于连接冷却管路。通过本发明所述结构，将铜导热系数高和玻璃复合系数低的特点有效结合，使该等离子体电极结构既能够提供优异的冷却能力又能够有效降低电极受到等离子体轰击后产生的溅射，提升了引出离子束中目标离子的占比。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 等离子体 电极 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥综合性国家科学中心能源研究院（安徽省能源实验室），未经合肥综合性国家科学中心能源研究院（安徽省能源实验室）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310416719.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
