[发明专利]一种高抗激光损伤性能石英表面的制备方法在审
| 申请号： | 202310413943.6 | 申请日： | 2023-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN116375350A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 李昌朋;杨科;张卓;王海军;钱宇杰;张传超;易聪之;刘太祥;严鸿维;黄进;黄林 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;C03C23/00;C03B20/00 |
| 代理公司： | 绵阳远卓弘睿知识产权代理事务所(普通合伙) 51371 | 代理人： | 贾晓燕 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高抗激光损伤性能的石英表面制备方法，包括以下步骤：先对石英基片进行刻蚀处理；其后再对所述石英基片进行Marangoni干燥处理；最后再对所述石英基片进行二氧化碳激光热处理；通过刻蚀能够有效去除石英表面的抛光残留物和亚表面缺陷层等低通量损伤前驱体，但同时也会引入高通量前驱体，比如痕量的无机盐和有机物类沉积物；而后利用Marangoni干燥大幅降低残留液膜厚度实现无机盐类沉积物的有效抑制；再利用二氧化碳激光热处理实现对有机物类沉积物的热降解，进而获得具有高抗激光损伤性能的石英表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 损伤 性能 石英 表面 制备 方法 | ||
【主权项】：
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