[发明专利]超声悬浮轴承气膜厚度与输入电压复合控制装置及方法在审
申请号: | 202310397381.0 | 申请日: | 2023-04-14 |
公开(公告)号: | CN116412210A | 公开(公告)日: | 2023-07-11 |
发明(设计)人: | 陈国达;葛一帆;王深 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | F16C32/00 | 分类号: | F16C32/00;F16C41/00 |
代理公司: | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人: | 汤明 |
地址: | 310014 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了超声悬浮轴承气膜厚度与输入电压复合控制装置及方法,包括主轴、超声悬浮轴承、超声悬浮轴承保持架、激光位移传感器、激光测位控制器、电控位移台、步进电机、信号发生器、功率放大器及工控机;所述超声悬浮轴承固定在超声悬浮轴承保持架上,所述超声轴承保持架固定在电控位移台上;所述超声悬浮轴承与功率放大器通过电缆相连;所述功率放大器与信号发生器通过电缆相连;所述信号发生器与工控机通过电缆相连;所述激光位移传感器与激光测位控制器相连;所述激光测位控制器与工控机通过电缆相连。本发明可主动控制超声悬浮轴承电压和气膜厚度,使轴承处于最佳工作状态,提高主轴转子回转误差控制效果。 | ||
搜索关键词: | 超声 悬浮 轴承 厚度 输入 电压 复合 控制 装置 方法 | ||
【主权项】:
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