[发明专利]一种基于图像处理的微波近场针-样距控制方法在审
| 申请号： | 202310379452.4 | 申请日： | 2023-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN116559202A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 曾慧中;骆培文;张文旭 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N22/00 | 分类号： | G01N22/00;G06T7/00;G06T7/246;G06T7/73 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 611731 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种基于图像处理的微波近场针‑样距控制方法，属于近场微波测量领域。本发明通过将图像转换为数值矩阵并对其进行数学处理的方式，对图像中探针到样品表面的距离(针‑样距)进行识别，在探针移动的过程中，本发明可对针‑样距进行跟踪和修正且修正精度能达到16um。相对传统的激光位移传感器识别方案，本发明提供的针‑样距控制方法极大降低了近场微波测试中的测试成本，满足了对针‑样距控制的低成本、高精度的测试需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 图像 处理 微波 近场 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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