[发明专利]一种力流变抛光液循环、冷却装置及其冷却方法

摘要

本发明涉及超精密加工中的抛光加工技术领域，具体涉及一种力流变抛光液循环、冷却装置及其冷却方法。包括换热器，换热器包括用于容纳抛光液的内腔，内腔内设有搅拌输送组件，内腔外还套设有外腔，外腔内设有填充水和冷却水循环单元，通过控制冷却水的流量调节填充水的温度，通过所述填充水与抛光液之间的热交换实现抛光液冷却。通过设置搅拌输送组件实现抛光液循环，避免其出现堵塞、顺通不畅以及不连续的现象；内腔内的力流变抛光液通过与外腔内填充的填充水进行热交换，实现抛光液冷却，保持力流变抛光液的性能，提升抛光效率和质量。