[发明专利]一种基于无氟化学溶液氧压切换法制备超导薄膜的方法在审

专利信息
申请号: 202310331855.1 申请日: 2023-03-31
公开(公告)号: CN116477948A 公开(公告)日: 2023-07-25
发明(设计)人: 李敏娟;蔡传兵;刘志勇;周星航 申请(专利权)人: 上海大学;上海上创超导科技有限公司
主分类号: C04B35/505 分类号: C04B35/505;C04B35/622;C04B35/624
代理公司: 西安汇恩知识产权代理事务所(普通合伙) 61244 代理人: 毕波
地址: 200444*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种基于无氟化学溶液氧压切换法制备超导薄膜的方法,包括前驱液制备、涂覆、低温热解处理、高温晶化和氧化五个步骤。在高温晶化过程中先利用低氧压去除BaCO3,再切换为高氧压,利用氧压的变化来促使BaCO3与CuO反应,产生瞬态液相,从而辅助YBCO生长,提高生长速率。本发明制备的超导薄膜,利用氧压切换法成功实现了金属基底上YBCO薄膜的快速外延生长,生长速率最高可达1800nm/min,远超常规FF‑MOD方法。采用本发明的制备方法,能得到具有较高临界电流密度的YBCO超导薄膜,用于金属有机物沉积法制备第二代高温超导带材。
搜索关键词: 一种 基于 氟化 溶液 切换 法制 超导 薄膜 方法
【主权项】:
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