[发明专利]一种基于无氟化学溶液氧压切换法制备超导薄膜的方法在审
申请号: | 202310331855.1 | 申请日: | 2023-03-31 |
公开(公告)号: | CN116477948A | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
发明(设计)人: | 李敏娟;蔡传兵;刘志勇;周星航 | 申请(专利权)人: | 上海大学;上海上创超导科技有限公司 |
主分类号: | C04B35/505 | 分类号: | C04B35/505;C04B35/622;C04B35/624 |
代理公司: | 西安汇恩知识产权代理事务所(普通合伙) 61244 | 代理人: | 毕波 |
地址: | 200444*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: |
本发明提供了一种基于无氟化学溶液氧压切换法制备超导薄膜的方法,包括前驱液制备、涂覆、低温热解处理、高温晶化和氧化五个步骤。在高温晶化过程中先利用低氧压去除BaCO |
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搜索关键词: | 一种 基于 氟化 溶液 切换 法制 超导 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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