[发明专利]一种基于重构和预测联合确定异常的方法在审
| 申请号： | 202310321626.1 | 申请日： | 2023-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN116340872A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 文成武;夏敏;易丛文 | 申请（专利权）人： | 深圳智现未来工业软件有限公司 |
| 主分类号： | G06F18/2433 | 分类号： | G06F18/2433;G06F18/214 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11309 | 代理人： | 周良玉 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区南头*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于重构和预测联合确定异常的方法，包括：获取多变量时序数据，所述时序数据为半导体制造过程中设备的多个传感器产生的数据；将所述时序数据中对应于第一时间窗的第一目标子序列输入到重构模型中，得到对于所述第一时间窗的重构数据，所述第一时间窗的截止时间点为第n+1时间点；将所述时序数据中截至第n时间点的第二目标子序列输入到预测模型中，得到对于第n+1时间点的预测数据；将所述重构数据中对应于第n+1时间点的目标数据与所述预测数据进行聚合，得到对于第n+1时间点的总预测数据；将所述总预测数据与所述时序数据在第n+1时间点上所对应的实测数据进行比较，确定第n+1时间点是否出现异常。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 预测 联合 确定 异常 方法 | ||
【主权项】：
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