[发明专利]超声波传感器及超声波传感器的制造方法在审
| 申请号： | 202310318486.2 | 申请日： | 2023-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN116893002A | 公开（公告）日： | 2023-10-17 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木美绪;小岛力;泉尾诚治 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08;H10N30/30;H10N30/03 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供超声波收发灵敏度高的超声波传感器及超声波传感器的制造方法。超声波传感器具备：基板，所述基板具有第一面及与所述第一面相反的一侧的第二面，且形成有从第一面横跨至第二面的开口部；振动板，堵塞开口部的第一面侧；压电元件，所述压电元件设置于振动板的与开口部相反的一侧的面，且包括第一电极、压电体层及第二电极；以及弹性层，在开口部中设置为与振动板相接，将第一电极、压电体层及第二电极重叠的部分设为有源部，与一个开口部对置地配置多个有源部，弹性层的厚度在基板的厚度的一半以上且小于基板的厚度，在各有源部处的弹性层的厚度均等。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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