[发明专利]一种动态参数测试系统

摘要

本发明提供一种动态参数测试系统，包括测试机台、示波器、待测半导体器件和栅极近端驱动板，测试机台分别与示波器和栅极近端驱动板电连接，并用于向示波器提供电平转换的触发信号，还用于通过栅极近端驱动板与待测半导体器件形成大电流回路，栅极近端驱动板固定在待测半导体器件的附近，并用于驱动待测半导体器件开通和关闭，示波器用于测试待测半导体器件的动态参数。本发明通过增设栅极近端驱动板，并将所述栅极近端驱动板放置在待测半导体器件附近，缩短了栅极驱动回路与待测半导体器件之间的长度，减少了栅极驱动回路的寄生参数，优化了测量结果和测量波形，使得测试数据更加精确，测量结果更加可靠。