[发明专利]一种光学非接触式高陡度轮廓测量装置

摘要

本发明涉及一种光学非接触式高陡度轮廓测量装置，属于精密测量领域。装置主要由精密运动执行模块，轮廓表面探测模块，精密位移测量模块构成。本发明使用具有一定安装倾角的光谱色散共焦位移测头实现高陡度轮廓的探测，利用二维正交直线运动台搭载测头按指定轨迹运动，结合被测零件在精密回转轴上的转动实现三维轮廓扫描。装置采用光纤导光的多轴双频激光干涉测距结合参考基准框架技术对测头的位移进行高精度测量并实现阿贝误差的补偿。本发明测量装置结构简化，可实现高陡度精密零件的超精密测量。