[发明专利]一种冷却装置、单晶炉及单晶生产线在审
申请号: | 202310241916.5 | 申请日: | 2023-03-10 |
公开(公告)号: | CN116180228A | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
发明(设计)人: | 王林;周刚 | 申请(专利权)人: | 三一硅能(株洲)有限公司 |
主分类号: | C30B27/02 | 分类号: | C30B27/02;C30B15/00;C30B29/06;C30B33/00;F27D9/00 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 杜雪清 |
地址: | 412005 湖南省株洲市铜塘湾*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明涉及单晶生产技术领域,具体涉及一种冷却装置、单晶炉及单晶生产线,该冷却装置包括驱动机构、第一冷却机构和第二冷却机构,第一冷却机构与驱动机构传动连接,第二冷却机构与第一冷却机构相对设置,第二冷却机构和驱动机构传动连接,驱动机构能够驱动第一冷却机构和第二冷却机构相靠近以夹持冷却对象或者相远离以松开冷却对象。本发明通过驱动机构驱动第一冷却机构和第二冷却机构相对运动,就能够实现对冷却对象的接触式冷却,提升了冷却速度及缩短冷却时间,进而提升单晶炉生产节拍、提高产能,并且,第一冷却机构和第二冷却机构由同一驱动机构控制驱动,结构紧凑、运动同步性好。 | ||
搜索关键词: | 一种 冷却 装置 单晶炉 生产线 | ||
【主权项】:
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