[发明专利]一种晶圆检测台的探针位置控制方法、装置及系统在审
| 申请号： | 202310234864.9 | 申请日： | 2023-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN116500402A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 夏新栋;沈绍博;兰昊;汤芷涵;黄怡;黄振涛;杨长春;杨彪 | 申请（专利权）人： | 常州大学 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G06F17/16;G05B13/04 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 张秋月 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种晶圆检测台的探针位置控制方法、装置及系统，方法包括：连续测量探针的位置信息，以预设的时间间隔对位置信息进行采样，得到采样信号，每得到一个新的采样信号，执行一次控制信号获取步骤；控制信号获取步骤包括：S1，将新的采样信号经过零阶保持器保持，得到采样数据x |
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| 搜索关键词： | 一种 检测 探针 位置 控制 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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