[发明专利]一种白光干涉仪快速准焦方法在审
| 申请号： | 202310227216.0 | 申请日： | 2023-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN116202415A | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 李寅睿;梁宜勇 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B9/02055 | 分类号： | G01B9/02055 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 贾玉霞 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种白光干涉仪快速准焦方法，包括：粗准焦，步进电机沿靠近样品的正方向按第一精度步长移动，每次移动采集一张图片，根据能量梯度函数算法计算每张图片的清晰度，并记录最大清晰度值；细准焦，步进电机沿正方向按第二精度步长移动，根据能量梯度函数算法和改进的EAV点锐度算法记录每张图片清晰度及其最大值对应的位置；精准焦，压电陶瓷驱动器沿反方向按第三精度步长移动，根据改进的EAV点锐度算法记录每张图片清晰度及其最大值，经判断后确定准焦位置。本发明利用步进电机和压电陶瓷驱动器实现分级准焦，并补偿步进电机回退的误差；用能量梯度函数和改进的EAV点锐度算法评价图像的清晰度，实现快速、高精度、大搜索范围的自动准焦。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 白光 干涉仪 快速 方法 | ||
【主权项】：
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