[发明专利]一种基于金刚石的磁场传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202310220333.4 | 申请日： | 2023-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN116390630A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 汤琨;黄颖蒙;段晶晶;朱顺明;顾书林 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | H10N50/01 | 分类号： | H10N50/01;G01R33/02;H10N50/80;H10N50/85 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
一种基于金刚石的磁场传感器及制备，包括由单晶金刚石衬底，掺氮的金刚石薄膜层，及钛、金电极构成的电极层，单晶金刚石衬底、掺氮的金刚石薄膜层、电极层由下至上依次设置，在两个电极间形成金属‑半导体‑金属结构；所述单晶金刚石衬底为高温高压法合成的Ib型金刚石单晶，晶向为(100)，X射线衍射半峰宽小于0.1°，含氮量为27±5ppm；所述掺氮的金刚石薄膜层厚度为20～80μm，含氮量约为168±15ppm。本发明中掺氮的金刚石薄膜层提高了金刚石中的氮空位(NV)含量，通过电压调控尽可能让NV色心处于利于传感的NV |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 金刚石 磁场 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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