[发明专利]基于单面内微触觉结构的传感器的制备方法在审
申请号: | 202310202029.7 | 申请日: | 2023-02-27 |
公开(公告)号: | CN116164865A | 公开(公告)日: | 2023-05-26 |
发明(设计)人: | 闫岩;林伟滨;孙启军;邱瑞雪;张猛 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | G01L1/18 | 分类号: | G01L1/18 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 迟珊珊 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于单面内微触觉结构的传感器的制备方法,包括将PDMS预聚体层旋涂于制膜钢板中设置有弧形凹坑的一侧表面上并将PET层压合于PDMS预聚体层上得到PDMS基底,将GPC墨水涂匀浇筑于ITO‑PET层的上表面形成GPC层,将PET层的一侧表面压合于GPC层上得到第一传感结构层;将GPC墨水涂匀浇筑于ITO‑PET层的上表面形成GPC层得到第二传感结构层,第二传感结构层的一侧表面上形成与砂纸对应的接触传感内微结构;将第一传感结构层、第二传感结构层以及PDMS基底依次自上而下叠放形成复合传感结构层,复合传感结构层用于接触传感。本方法能够低成本且高效的制备基于单面内微触觉结构的传感器,提高传感器内触觉传感结构识别纹理三维信息的准确度和稳定性。 | ||
搜索关键词: | 基于 单面 触觉 结构 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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