[发明专利]基于单面内微触觉结构的传感器的制备方法在审

专利信息
申请号: 202310202029.7 申请日: 2023-02-27
公开(公告)号: CN116164865A 公开(公告)日: 2023-05-26
发明(设计)人: 闫岩;林伟滨;孙启军;邱瑞雪;张猛 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: G01L1/18 分类号: G01L1/18
代理公司: 深圳市精英专利事务所 44242 代理人: 迟珊珊
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种基于单面内微触觉结构的传感器的制备方法,包括将PDMS预聚体层旋涂于制膜钢板中设置有弧形凹坑的一侧表面上并将PET层压合于PDMS预聚体层上得到PDMS基底,将GPC墨水涂匀浇筑于ITO‑PET层的上表面形成GPC层,将PET层的一侧表面压合于GPC层上得到第一传感结构层;将GPC墨水涂匀浇筑于ITO‑PET层的上表面形成GPC层得到第二传感结构层,第二传感结构层的一侧表面上形成与砂纸对应的接触传感内微结构;将第一传感结构层、第二传感结构层以及PDMS基底依次自上而下叠放形成复合传感结构层,复合传感结构层用于接触传感。本方法能够低成本且高效的制备基于单面内微触觉结构的传感器,提高传感器内触觉传感结构识别纹理三维信息的准确度和稳定性。
搜索关键词: 基于 单面 触觉 结构 传感器 制备 方法
【主权项】:
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