[发明专利]一种高灵敏柔性压电超声换能器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高灵敏柔性压电超声换能器及其制备方法，属于柔性传感器技术领域。所述压电超声换能器包括依次设置的具有空腔结构的柔性衬底、弹性层、底电极、压电层、上电极及绝缘层，其中压电层为压电材料Ba0.92Ca0.08Ti1‑xSnxO3薄膜，x为0.01‑0.1，具有高压电性能及无污染优势，弹性层为耐高温白云母片，兼容微电子工艺与压电材料高温退火工艺。本发明提供的压电超声换能器集成了超声波发射及接收功能，尺寸小、可发生大幅度形变，适用于非平面结构无损探伤、生物体组织成像、人体可穿戴设备等领域。本发明公开的高灵敏柔性压电超声换能器制备方法简单，成本低廉，适合批量生产。