[发明专利]基于压力和温度的自供电柔性传感器及其制作方法和应用在审

专利信息
申请号: 202310136129.4 申请日: 2023-02-20
公开(公告)号: CN116147796A 公开(公告)日: 2023-05-23
发明(设计)人: 周伟;计东生;陈锐;王锦成;吴粦静 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: G01K7/16 分类号: G01K7/16;G01L1/22;H02N11/00;C23C14/35;C23C14/20
代理公司: 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 代理人: 连耀忠
地址: 361000 *** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种基于压力和温度的自供电柔性传感器及其制作方法和应用,该传感器包括由下至上依次层叠设置的下电极层、热电自供电层、热阻传感层、互锁压敏层和上电极层;下电极层和上电极层用于测量热电自供电层由于被测物体与环境之间的温差所产生的电势差;互锁压敏层包括上压敏层和下压敏层,上压敏层和下压敏层中相对的两个表面均设有微结构并且构成互锁连接,在压力作用下改变上压敏层和下压敏层的接触面积并产生电阻变化;热阻传感层中填充有液态金属,通过液态金属的体积变化改变热电自供电层与下压敏层的接触面积并产生电阻变化。由于热阻传感层和互锁压敏层电阻变化,结合热电自供电层产生的电势差,最终实现压力和温度解耦。
搜索关键词: 基于 压力 温度 供电 柔性 传感器 及其 制作方法 应用
【主权项】:
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