[发明专利]一种多模干涉耦合器内部分束装置在审
| 申请号： | 202310104653.3 | 申请日： | 2023-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN116047659A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 王宇飞;王利昌;周旭彦;张建心;李梦娜;王小梅;王海玲 | 申请（专利权）人： | 潍坊先进光电芯片研究院;中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/12 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 赵军 |
| 地址： | 262400 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体光电子器件集成技术领域，提供了一种多模干涉耦合器内部分束装置，芯层高折射率波导内嵌在低折射率包层中，芯层包括依次连接的输入直波导、锥形渐变输入波导、多模干涉区域、空气狭缝、锥形渐变输出波导、输出直波导。其中，锥形渐变输入波导与多模干涉区域的一端连接，锥形渐变输出波导根据使用需要能够和多模干涉区域的多个位置相连。本发明通过在MMI像点处加入45°的空气狭缝，实现了水平和竖直两个方向出光，并且不同的狭缝宽度拥有不同的分束比。本发明提供的分束装置避免了在MMI外部添加其他改变光路方向和分束比的器件，降低了整个集成器件的损耗，使得整个器件更加紧凑，从而提升了整体的性能和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干涉 耦合器 部分 束装 | ||
【主权项】：
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