[发明专利]二维材料在不同衬底间的转移方法在审

专利信息
申请号: 202310098330.8 申请日: 2023-02-10
公开(公告)号: CN116067734A 公开(公告)日: 2023-05-05
发明(设计)人: 闫家旭;李治朴;赵寻;刘雷;申德振 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28
代理公司: 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 代理人: 郭婷
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及二维材料转移技术领域,尤其涉及一种二维材料在不同衬底间的转移方法。二维材料在不同衬底间的转移方法包括如下步骤:使用碱金属卤化物制作衬底;将机械剥离的原始样品粘附在衬底表面,在光学显微操作台上选出目标样品;在衬底的旁边滴加去离子水使目标样品漂浮,通过探针挑起目标样品并将其移动到硅片上;对目标样品上残留的碱金属卤化物进行后续处理,完成二维材料的转移。本发明能够解决样品附带较难去除的污染物的问题,同时使用纳米级钨针,可以挑起较小尺度的样品且不易对样品造成破坏,实现对样品的无损转移。
搜索关键词: 二维 材料 不同 衬底 转移 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202310098330.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top