[发明专利]二维材料在不同衬底间的转移方法在审
申请号: | 202310098330.8 | 申请日: | 2023-02-10 |
公开(公告)号: | CN116067734A | 公开(公告)日: | 2023-05-05 |
发明(设计)人: | 闫家旭;李治朴;赵寻;刘雷;申德振 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01N1/28 | 分类号: | G01N1/28 |
代理公司: | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人: | 郭婷 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明涉及二维材料转移技术领域,尤其涉及一种二维材料在不同衬底间的转移方法。二维材料在不同衬底间的转移方法包括如下步骤:使用碱金属卤化物制作衬底;将机械剥离的原始样品粘附在衬底表面,在光学显微操作台上选出目标样品;在衬底的旁边滴加去离子水使目标样品漂浮,通过探针挑起目标样品并将其移动到硅片上;对目标样品上残留的碱金属卤化物进行后续处理,完成二维材料的转移。本发明能够解决样品附带较难去除的污染物的问题,同时使用纳米级钨针,可以挑起较小尺度的样品且不易对样品造成破坏,实现对样品的无损转移。 | ||
搜索关键词: | 二维 材料 不同 衬底 转移 方法 | ||
【主权项】:
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