[发明专利]盖玻片厚度检测设备、方法、电子设备及存储介质在审
| 申请号： | 202310093657.6 | 申请日： | 2023-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN115774262A | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 梁倩;陈龙超;王谷丰 | 申请（专利权）人： | 深圳赛陆医疗科技有限公司 |
| 主分类号： | G01S17/08 | 分类号： | G01S17/08;G01S7/481;G01B11/06;G01N21/84;C12M1/34;C12Q1/6869 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 洪铭福 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开的盖玻片厚度检测设备、方法、电子设备及存储介质，涉及光学检测领域，其中发射模块发出发射光，经过准直扩束形成扩束光被检测模块接收，检测模块中的物镜将扩束光形成入射光聚焦在盖玻片的目标表面，目标表面反射入射光形成反射光，反射光被检测模块收集并传输到探测模块形成汇聚光斑，使物镜对目标表面离焦得到离焦量，再通过探测器收集离焦时的光斑，处理单元计算光斑的像素偏移量，对像素偏移量和离焦量拟合得到目标表面的预设偏移关系，从而计算目标表面的测量高度，实现对已封装样本芯片上盖玻片的厚度检测，通过扫描整张盖玻片，得到目标表面的光斑像素偏移量，再利用预设偏移关系即可计算离焦量与厚度，检测过程简单。 | ||
| 搜索关键词： | 盖玻片 厚度 检测 设备 方法 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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