[发明专利]一种管状物内壁双辉等离子处理装置及处理方法在审
| 申请号： | 202310091775.3 | 申请日： | 2023-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN116516303A | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 魏东博;林慕尧;陈小虎;张平则;杨凯;李淑琴 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学;中国兵器科学研究院宁波分院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/02;C23C14/50;C23C14/58;C23C14/16 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 金诗琦 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种管状物内壁双辉等离子处理装置，包括电极杆和底盘；底盘通过第一陶瓷支柱与靶材托盘相连，底盘通过第二陶瓷支柱与工件托盘相连；靶材托盘上设置靶材一及靶材二，靶材一、靶材二为圆盘形；工件托盘上预留与工件内径相等的孔，工件托盘上还设置空心保温罩，靶材一、靶材二中间位置设置工件，靶材一、靶材二、工件、空心保温罩的中心线重合；靶材托盘与电极杆一相连，工件托盘与电极杆二相连。本发明还公开了一种管状物内壁双辉等离子处理装置的处理方法。本发明的两个金属靶材外壁和管状物内壁为等间距，位于管状物的上下两侧，膜层厚度均匀致密，无孔洞和裂纹出现，与基体成冶金结合，提高使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 管状 内壁 等离子 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
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