[发明专利]荷电粒子检测器在审
申请号: | 202310062173.5 | 申请日: | 2023-01-19 |
公开(公告)号: | CN116500666A | 公开(公告)日: | 2023-07-28 |
发明(设计)人: | 林雅宏 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01T1/36 | 分类号: | G01T1/36 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;黄浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供荷电粒子检测器,荷电粒子检测器(1)包括:微通道板(2),其具有输入电子(荷电粒子)的输入面(2a)、维持电子的位置信息并且进行电子倍增的倍增部(5A、5B)和输出倍增部(5A、5B)的倍增电子的输出面(2b);多倍增极(3),其具有将从输出面(2b)输出的电子倍增的多个倍增极(12)和位于倍增极(12、12)间的绝缘区域(13);和阳极(4),其具有配置在输出面(2b)与多倍增极(3)之间的空间区域、收集倍增极(12)的倍增电子的收集部(21)和使从输出面(2b)输出的电子穿过至倍增极(12)侧的开口部(22),在从来自输出面(2b)的电子的输出方向看时,绝缘区域(13)的全体与收集部(21)重叠。 | ||
搜索关键词: | 粒子 检测器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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