[发明专利]一种阀泵一体的主动阀型微泵及调控流体的方法和制作方法在审
| 申请号： | 202310051494.5 | 申请日： | 2023-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN116066333A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 袁俊;郝秀春;张西良;陈成;张亚磊 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | F04B43/04 | 分类号： | F04B43/04;F04B53/10;B23K26/38;B23K26/70 |
| 代理公司： | 南京智造力知识产权代理有限公司 32382 | 代理人： | 王军丽 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种阀泵一体的主动阀型微泵及调控流体的方法和制作方法，自下而上包括基底层、泵体层、薄膜层、支撑件、微型电机及轴体，轴体上集成有三个大小完全相同的径向环形永磁体组成的阵列，其中三个环形永磁体周向极性相位具备一定的相位差，泵体层上刻蚀有三个大小相同的腔体，薄膜层由三个磁极方向相同的柱形磁铁组成的磁铁阵列和薄膜构成。当微型电机及轴体带动环形永磁体阵列旋转时，会在三个位置产生变化磁场，使得柱形磁铁阵列上下运动，柱形磁铁阵列带动薄膜上下往复运动，从而使得泵体层腔体的容积发生变化。本发明结构简单，具有制造成本低廉、驱动电压小、功耗低、流量大的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 一体 主动 阀型微泵 调控 流体 方法 制作方法 | ||
【主权项】：
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