[发明专利]真空泵系统

摘要

本发明公开了一种真空泵系统。真空泵系统包括进气管道、真空泵、排气管道和过滤器。真空泵的进气口与进气管道连接。真空泵的排气口与排气管道连接。过滤器设置在进气管道与真空泵的进气口之间。且过滤器包括通气腔和过滤板。过滤板设置在通气腔内且设置在气流的输送方向上以对气流进行过滤。本发明的真空泵系统通过在进气管道和真空泵的进气口之间设置过滤器，通过过滤器的过滤板对气流进行过滤，以使得气流中携带的异味杂质被过滤板过滤，进而减少真空泵排出气体的异味。