[发明专利]太赫兹时域光谱系统及其测量单晶金刚石光电参数的方法

摘要

本发明公开了一种太赫兹时域光谱系统及其测量单晶金刚石光电参数的方法，其中系统包括飞秒激光器、分束器、泵浦光路、探测光路、充气室、低温恒温器，以及依次相互连接的锁相放大器、数据处理装置以及计算机，泵浦光路包括光学斩波器，以及在充气室内的太赫兹波发射器、第一离轴抛物面镜组、样品架、第二离轴抛物面镜组、半透半反射镜和太赫兹波探测器，探测光路包括光学时延镜组和光程调节装置，探测光路从半透半反射镜汇入泵浦光路。本发明的泵浦光路的太赫兹波探测部分设置在了充气室内，避免了外界环境的影响，提高了测量精度，并且还设置有低温恒温器，通过低温恒温器还可实现不同测试温度下样品的测量。