[发明专利]一种基于白光共焦原理的高精度检测装置及方法有效
| 申请号： | 202310010339.9 | 申请日： | 2023-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN116045824B | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 罗杰;肖仁义 | 申请（专利权）人： | 深圳市华众自动化工程有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 尹益群 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明区凤凰街道塘尾*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种基于白光共焦原理的高精度检测装置及方法，在透明待测物的表面确定第一测量路径和第二测量路径，在测量探头的光轴上确定第一运动控制基准点，控制所述第一运动控制基准点沿与所述第一测量路径、所述第二测量路径在同一个平面上第三测量路径来回运动以分别对所述透明待测物的两个表面的距离进行测量，测量过程中分别保持所述测量探头的光轴实时垂直于所述透明待测物的其中一个表面，从而根据测量得到的所述透明待测物的两个表面的距离计算两个表面之间的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 白光 原理 高精度 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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