[外观设计]真空烤盘炉（MATE型）有效
| 申请号： | 202230646317.8 | 申请日： | 2022-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN307919113S | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 王祥;王锋 | 申请（专利权）人： | 宁波沁圆科技有限公司 |
| 主分类号： | 15-05 | 分类号： | 15-05 |
| 代理公司： | 北京金咨知识产权代理有限公司 11612 | 代理人： | 方日勇 |
| 地址： | 315400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 1.本外观设计产品的名称：真空烤盘炉（MATE型）。2.本外观设计产品的用途：真空烤盘炉为LED制造行业的一种真空设备，与MOCVO设备配套使用。炉内抽真空，被处理工件放置在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体为氮气或者氢气)，可用于清除MOCVO承受器(SiC涂层石墨盘或者石英盘)上的氮化镓和氮化铝。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 烤盘炉 mate | ||
【主权项】：
暂无信息
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