[实用新型]用于低温磁场环境的高精度位移测量装置有效
| 申请号： | 202223604984.3 | 申请日： | 2022-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN219319306U | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 郭成龙;刘立民;陈帝升;郭晨阳 | 申请（专利权）人： | 多场低温科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;G01D5/24 |
| 代理公司： | 北京市正见永申律师事务所 11497 | 代理人： | 黄小临;冯玉清 |
| 地址： | 100012 北京市怀柔区雁栖*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于低温磁场环境的高精度位移测量装置。根据一实施例，一种位移测量装置包括：基座底板、设置于基座底板上的固定支架、以及支承在固定支架上的基座顶板；连接到固定支架并且位于基座底板与基座顶板之间的弹性横梁，弹性横梁上设置有用于承载样品的载物台，样品位于基座顶板与载物台之间；连接到载物台的下端的电容传感器顶板和设置在基座底板上的电容传感器底板，电容传感器顶板和电容传感器底板彼此相对并且间隔开一距离以形成电容传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 低温 磁场 环境 高精度 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
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