[实用新型]石墨热场加热器及石墨热场有效

专利信息
申请号: 202223543284.8 申请日: 2022-12-29
公开(公告)号: CN219042014U 公开(公告)日: 2023-05-16
发明(设计)人: 杨振远;白俊鹏;马长庆 申请(专利权)人: 河北晶碳科技有限公司
主分类号: H05B3/14 分类号: H05B3/14;H05B3/02
代理公司: 北京东方芊悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11591 代理人: 凌云
地址: 065399 河北省廊坊市大厂*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型涉及石墨热场加热器及石墨热场,石墨热场加热器,包括圆筒状的石墨体,石墨体的周向设置有多个呈交错设置的开口槽,开口槽的槽底设置有弧形的弧槽,开口槽的两边分别设置有凹纹图案一,凹纹图案一包括多个“山”字状的第一凹纹、与第一凹纹呈间隔设置的“山”字状的第二凹纹,所述开口槽两边的凹纹图案一之间还设置有“彐”字状的第三凹纹,所述第一凹纹、第二凹纹和第三凹纹均设置在石墨体的内壁。所述石墨热场加热器在通电后发热效果好,发热量大,能够改善开口槽、弧槽等区域的发热量低的缺陷,使得热量更易向石墨体的内圈处集中,使得热场内的热量分布更均匀,从而提升石墨热场处单晶硅棒的拉制质量以及合格率。
搜索关键词: 石墨 加热器
【主权项】:
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