[实用新型]一种直拉单晶炉冷却水循环系统有效
申请号: | 202223501928.7 | 申请日: | 2022-12-27 |
公开(公告)号: | CN219137000U | 公开(公告)日: | 2023-06-06 |
发明(设计)人: | 卢亮;鞠贵冬;李煜川;黄晶晶;唐姊瑀 | 申请(专利权)人: | 江苏双良冷却系统有限公司;双良节能系统股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 常亮 |
地址: | 214400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种直拉单晶炉冷却水循环系统,与直拉单晶炉组件结合安装,所述直拉单晶炉组件包括炉底、副室、主室上部、主室下部、隔离阀、电源柜、水冷屏以及泵,所述直拉单晶炉冷却水循环系统包括第一管路和第二管路;所述第一管路串联紧贴所述炉底、所述副室、所述主室上部、所述主室下部以及所述隔离阀,且所述第一管路包括第一冷却塔和第一蓄水池;所述第二管路串联紧贴所述电源柜、所述水冷屏以及所述泵,且所述第二管路包括第二冷却塔和第二蓄水池。所述直拉单晶炉冷却水循环系统节水效果更好。 | ||
搜索关键词: | 一种 直拉单晶炉 冷却水 循环系统 | ||
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