[实用新型]玻璃真空磁控溅射镀膜生产线用废气收集机构

摘要

本实用新型属于废气收集领域，涉及一种玻璃真空磁控溅射镀膜生产线用废气收集机构，本实用新型包括镀膜箱、管道、操作箱与葫芦型气罐，通过镀膜箱内对产品进行镀膜时产生的气体，由驱动杆的上下运动，带动连接杆与顶块做活塞运动，在方箱内产生负压时，抽出镀膜箱内废气，通过横管内降温装置的过滤首先让废气进行降温，有效的降低了废气的温度，让其废气降低了挥发的危险，降温后的废气在通过酸性过滤器与碱性过滤器时，让废气与产生化学反应，有效的过滤出废气中所带有的酸性物与碱性物，在化学反应完后进入方箱内的水时，水会吸附废气中物理上的脏物，这样排出的废气大大减少了危害程度。