[实用新型]一种微波屏蔽结构和一种半导体器件的加工设备有效
| 申请号： | 202223346448.8 | 申请日： | 2022-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN219555545U | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 李蓬勃;谭华强;谈太德 | 申请（专利权）人： | 拓荆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K9/00 | 分类号： | H05K9/00;G02B5/20;G02B3/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐迪 |
| 地址： | 110171 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微波屏蔽结构和一种半导体器件的加工设备。该微波屏蔽结构包括金属屏蔽网，其中，所述金属屏蔽网设置于反应腔室内的光源下方的开口处，其外部覆盖支撑板，其特征在于，所述支撑板具有调光结构，用以调整经过所述微波屏蔽结构的光线的光谱和/或光路。通过采用上述微波屏蔽结构，对光路系统进行调整，不仅增强了滤光功能，加大了紫外线的透过率并减少了其他波段的光线的干扰，而且能够获得更均匀的紫外光线的光谱分布。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 屏蔽 结构 半导体器件 加工 设备 | ||
【主权项】：
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