[实用新型]一种打火自熄式的离子泵控制器有效
申请号: | 202223318220.8 | 申请日: | 2022-12-09 |
公开(公告)号: | CN218958544U | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 欧阳家祥 | 申请(专利权)人: | 浙江博太粒子加速器有限公司 |
主分类号: | H02H9/08 | 分类号: | H02H9/08;H02H3/26;H02H7/08;H02M7/10 |
代理公司: | 江苏智天知识产权代理有限公司 32550 | 代理人: | 陈俊凤 |
地址: | 315048 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供一种打火自熄式的离子泵控制器,应用于溅射离子泵技术领域,包括控制保护电路,控制保护电路与多档升压变压器的初级连接,多档升压变压器的次级与倍压整流电路连接,倍压整流电路与控制保护电路连接;控制保护电路包括主控模块、电流采样模块,主控模块与电源模块电性连接,主控模块输出端与继电器输出模块连接,继电器输出模块与多档升压变压器的初级连接;电流采样模块的输出端与主控模块的第二输入端连接,电流采样模块的输入端与倍压整流电路、离子泵连接。通过多档位调节,能够有效防止拉弧现象的持续,也能够有效避免电缆漏电引发的事故,同时能够避免离子泵频繁断电,有利于保障离子泵的正常工作。 | ||
搜索关键词: | 一种 打火 离子 控制器 | ||
【主权项】:
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