[实用新型]一种快速退火设备有效
| 申请号： | 202223268247.0 | 申请日： | 2022-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN219218223U | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 寇崇善 | 申请（专利权）人： | 日扬科技股份有限公司;明远精密科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京成越律师事务所 16070 | 代理人： | 蔡艳园 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种快速退火设备，其可适用于碳化硅晶圆的回火处理。包含变频微波功率源系统、共振腔加热系统及测控系统。变频微波功率源系统使用固态功率放大器并具有在热处理过程中快速频率扫描的灵活性。共振腔加热系统的共振腔的晶圆承载基除固定碳化硅晶圆外，可吸收部分微波产生热量并均匀地传导到碳化硅晶圆上，且同时允许大部分微波穿透以加热碳化硅晶圆，还能防止碳化硅晶圆边缘发生过热现象。为提高能量使用效率及提供足够的微波能量均匀区域，采用TM |
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| 搜索关键词： | 一种 快速 退火 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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