[实用新型]一种水洗槽清洗装置有效
| 申请号： | 202223199718.7 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN218655783U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 韩友生;赵改兵;殷玲飞;袁晓波 | 申请（专利权）人： | 昆山东威科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 马笑雨 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体电镀设备技术领域，尤其涉及一种水洗槽清洗装置。该水洗槽清洗装置可以用于清洗电镀设备中的产品和夹具。水洗槽清洗装置主要包括喷管组件和竹节嘴组件。其中，喷管组件的底部连通驱动装置，驱动装置被配置为将液体驱动至喷管组件内。竹节嘴组件的一端与喷管组件连通，竹节嘴组件的另一端弯曲后置于夹具上方，喷管组件内的液体能够经竹节嘴组件喷淋至夹具上。该水洗槽清洗装置结构简单，通过竹节嘴组件和喷管组件的设置，能够实现对夹具和产品的清洗，且竹节嘴组件的设置能够减少对夹具喷淋清洗过程中液体的飞溅，避免工艺槽体内的药液交叉污染，提升产品的良率和水洗槽清洗装置的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水洗 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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