[实用新型]一种长寿命旋转阴极磁控溅射靶材有效
| 申请号： | 202223098113.9 | 申请日： | 2022-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN219603667U | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 刘阳;刘彬;王磊磊 | 申请（专利权）人： | 北京实力源科技开发有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101102 北京市丰台*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种长寿命旋转阴极磁控溅射靶材，其特征在于，包括圆柱靶材、嵌入环状靶材和靶材堵头，所述圆柱靶材为直段靶材，所述嵌入环状靶材嵌套在所述圆柱靶材外部，所述嵌入环状靶材位于所述圆柱靶材两端的端部。使所述圆柱靶材两端端部靶材的消耗速率降低，使所述圆柱靶材端部和中间部位被刻蚀之差减小，从而提高靶材利用率，大幅度降低生产产品的成本，节约生产资源，提高产品竞争力；同时采用嵌入环状靶材的内凹槽结构与所述靶材堵头的外凸定位块紧密配合，解决所述圆柱靶材衔接处的散热问题，综合提升旋转阴极磁控溅射靶材的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 寿命 旋转 阴极 磁控溅射 | ||
【主权项】：
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