[实用新型]单晶炉热场和单晶炉有效

专利信息
申请号: 202222986893.4 申请日: 2022-11-09
公开(公告)号: CN218596572U 公开(公告)日: 2023-03-10
发明(设计)人: 李旭帆;李永辉;张旭;向鹏 申请(专利权)人: 青海晶科能源有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06
代理公司: 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 代理人: 成丽杰
地址: 810021 青海省西宁市城*** 国省代码: 青海;63
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摘要: 本申请实施例涉及单晶硅制造技术领域,提供一种单晶炉热场和单晶炉,单晶炉热场包括:加热器、导流筒以及保温筒;其中,保温筒包括上保温部和下保温部,上保温部的底部与下保温部的顶部相固定,上保温部围成第一腔室,下保温部围成第二腔室,第一腔室与第二腔室相连通,加热器设置于第二腔室内,上保温部的顶部具有开口,导流筒的下端从开口伸入第一腔室以及第二腔室内,上保温部的顶部具有向第一腔室延伸的突出部,以降低单晶炉热场的功率损失。
搜索关键词: 单晶炉热场 单晶炉
【主权项】:
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