[实用新型]一种涂胶显影机的涂胶腔体清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种涂胶显影机的涂胶腔体清洗装置，该清洗装置包括固定套，固定套固定于涂胶腔体内的腔底板上且套装于涂胶显影机的旋转主轴上，旋转主轴的上端从固定套中露出且固定有真空吸盘，旋转主轴上还固定有清洗盘，清洗盘处于真空吸盘的下方，清洗盘上设置有清洗液喷淋环槽，清洗盘的侧壁上设置有与清洗液喷淋环槽连通的清洗孔，清洗孔朝向涂胶腔体的侧壁，固定套上固定有与清洗液供液管路连通的出液嘴，出液嘴伸入清洗液喷淋环槽内将清洗液喷入清洗液喷淋环槽内，旋转主轴由主轴旋转动力装置驱动；该装置能在旋转主轴旋转时对涂胶腔体的侧壁进行清洗，且无需拆除装置，大大提高了清洗效率和生产效率。