[实用新型]一种适用于不平整样品表面的激光剥蚀系统

摘要

本实用新型公开了一种适用于不平整样品表面的激光剥蚀系统，包括：剥蚀激光发射模块、物镜、样品台和测距模块，所述剥蚀激光发送模块用于发射剥蚀激光，所述测距模块通过脉冲激光法检测检测物镜到样品表面的距离变化，并且根据测距结果控制物镜的上下平移，使物镜到样品表面的距离维持不变，所述测距模块设置在剥蚀激光发射模块和物镜之间的光路上。本实用新型在现有的激光剥蚀系统中在物镜和样品表面之间加入测距模块，在激光剥蚀过程中时刻调整物镜与样品表面的距离，使得样品表面与聚焦镜的距离保持恒定，使得激光剥蚀效率大大提高。