[实用新型]一种新型拼接式坩埚托盘

摘要

本实用新型公开了一种新型拼接式坩埚托盘，涉及单晶硅生产设备技术领域。本实用新型包括圆形连接板、环绕连接于圆形连接板周侧的承载板；承载板为瓣状结构，相邻两承载板侧面之间相贴合环绕形成圆环，承载板朝向圆形连接板的一侧通过凸起刮边与圆形连接板周向的连接槽相卡合与圆形连接板形成一体；承载板的一侧设置有定位凸起，另一侧设置有与定位凸起相对应的卡槽，各承载板侧部相连形成环状整体结构。本实用新型的拼接式坩埚托盘采用模块化结构，拆卸安装方便，无需对坩埚托盘整体进行更换，解决了因整体式坩埚托盘在遇到不利情形需要整体更换造成的维护成本高的问题，具有安装拆卸便捷，维护更换成本低的优点。