[实用新型]一种等离子体源装置有效
| 申请号： | 202222828203.2 | 申请日： | 2022-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN218679456U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 周焱文 | 申请（专利权）人： | 武汉麦韦光学科技有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/02 | 分类号： | H05F3/02;H01J37/32 |
| 代理公司： | 武汉天领众智专利代理事务所(普通合伙) 42300 | 代理人： | 刘点 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市江夏区庙山开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子体源装置，属于等离子体放电技术领域，其包括装置壳体，所述装置壳体的下表面开设有限位卡槽，所述限位卡槽内壁的上表面与电动推杆的顶端固定连接，所述电动推杆底端与底板的上表面固定连接，所述底板的左右两侧均固定连接有两个旋转装置，所述旋转装置外固定连接有金属接地板。该等离子体源装置，通过设置电动推杆、底板、气囊、推压装置和金属接地板，使得该装置在使用的过程中可以通过底板的挤压从而将金属接地板排出，从而通过金属接地板对该装置进行接地处理，避免因使用该装置的环境过于干燥而产生大量的静电，进而对该装置的运行效率以及对薄膜的处理效果起到了保障的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
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