[实用新型]一种基于纳米压印用真空贴合装置有效
| 申请号： | 202222825650.2 | 申请日： | 2022-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN218240659U | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 吴成文;李晓军 | 申请（专利权）人： | 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 孔祥玥 |
| 地址： | 510700 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及微纳制造技术领域，特别涉及一种基于纳米压印用真空贴合装置，包括腔体、第一吸附载台、第二吸附载台和驱动机构；腔体内设有隔板；隔板将腔体的内腔划分为第一腔室和第二腔室；第一腔室和第二腔室均设有真空接口和空气接口；隔板上设有连通第一腔室和第二腔室的通口；驱动机构连接有挡板，用于驱使挡板移动使通口封闭或使第一腔室与第二腔室连通；第一吸附载台和第二吸附载台分别设置在第一腔室和第二腔室内，第一吸附载台与第二吸附载台相对应设置且第一吸附载台可通过通口；第一吸附载台连接有第一杆体，第一杆体贯穿腔体的壁体并与腔体的壁体滑动密封连接。本申请解决了现有技术中存在软模板与母模板之间容易产生气泡的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 纳米 压印 真空 贴合 装置 | ||
【主权项】：
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