[实用新型]一种振动辅助加工用纳米微定位平台有效
申请号: | 202222775241.6 | 申请日: | 2022-10-19 |
公开(公告)号: | CN218320778U | 公开(公告)日: | 2023-01-17 |
发明(设计)人: | 李亮;史立岩;王辉 | 申请(专利权)人: | 天津金石精密机械有限公司 |
主分类号: | B81C99/00 | 分类号: | B81C99/00;H02N2/00;H02N2/04 |
代理公司: | 天津市新天方专利代理有限责任公司 12104 | 代理人: | 王伟 |
地址: | 301817 天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型是一种振动辅助加工用纳米微定位平台,包括平台本体,平台本体上开设有xy平台安装槽,xy平台安装槽内安装有xy平台,xy平台的左右两侧铰接有x向双复合式平行移动副且前后两侧铰接有y向双复合平行移动副,x向双复合式平行移动副、y向双复合平行移动副均通过平行轴式柔性铰链铰接有Scott‑Russell放大机构,Scott‑Russell放大机构连接有二级杠杆放大机构,二级杠杆放大结构一侧设有压电陶瓷驱动器。本实用新型在满足工作行程条件下扩大平台的工作行程和消除系统的耦合误差,平台通过三级位移放大机构扩大工作行程,利用平行轴式柔性铰链和双复合式平行移动副构成解耦机构,消除了运动耦合误差。 | ||
搜索关键词: | 一种 振动 辅助 工用 纳米 定位 平台 | ||
【主权项】:
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